CVC법에 의한 SiC 합성 기술반도체의 고집적화에 따라 많은 열이 발생하므로 효과적인 냉각을 위해서 열전도도가 높고 전기 절연성이 높은 탄화규소의 사용이 증가하고 있다. 열확산율은 구리보다도 우수하며 특히 반도체 chip에 사용 시 수직방향 뿐만 아니라 수평방향으로의 방열성이 요구되므로 탄화규소는 그 중요성이 증가하고 있다. 그 이외에 필요한물성은 기판과…