플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaNx 박막의 전기 전도도 조절
나노엔
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2018.07.02 13:17
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플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaNx 박막의 전기 전도도조절.pdf (1.9M)
출처:서울과학기술대학교 신소재공학과 류성연 최병준